์ด ๋ฌธ์์ ์๋ณธ์ ์ธ๋ถ ์ํค์์ ๊ฐ์ ธ์์ต๋๋ค.
1. ํต๊ณํ ์ฉ์ด[ํธ์ง]
- ๊ธฐ์ดํต๊ณํ์์, SEM์ด๋ ํ๊ท ์ ํ์ค์ค์ฐจ(standard error of the mean)์ ์ฝ์์ด๋ค. ๋๋ก SEM ํน์ SEMean ์ผ๋ก ํ๊ธฐํ๊ธฐ๋ ํ๋ค.
- ์์ฉํต๊ณํ์์, SEM์ด๋ ๊ตฌ์กฐ๋ฐฉ์ ์ ๋ชจํ(structural equation modeling)์ ์ฝ์์ด๋ค.
2. ์ฃผ์ฌ์ ์ ์ ํ๋ฏธ๊ฒฝ[ํธ์ง]
Scanning Electron Microscopy
ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ ์ผ์ข ์ผ๋ก, ์ง๊ณต์ ๋์ธ ์๋ฃ์ ํ๋ฉด์ 1~100 nm์ ์ ์์ ์ผ๋ก ๊ด์ธกํ๋ ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ด๋ค. 1965๋ ์ต์ด๋ก ์ํํ๋์๋ค. SEM์ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ๋ฐ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ฒจ๋จ์ฅ๋น์ ํ์ง๊ด๋ฆฌ์๋ ์ ์ฉํ๊ฒ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๋ค.
SEM์ ์ปฌ๋ผ๋ถ๋ ์ ์์ด, ์ง์๋ ์ฆ์ ๋๋ฌผ๋ ์ฆ, ์ฃผ์ฌ์ฝ์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋์ด ์๋ค. ์ ์์ด์ ์ ์๋น์ ๋ฐ์์ํค๊ณ ๊ฐ์์ํค๋ ๋ถ๋ถ, ์ง์๋ ์ฆ์ ๋๋ฌผ๋ ์ฆ๋ ์ ์๋น์ ๊ฐ๋๊ฒ ๋ชจ์์ฃผ๋ ๋ถ๋ถ, ์ฃผ์ฌ์ฝ์ผ์ ์ ์๋น์ ๊ฒฝ๋ก๋ฅผ ์กฐ์ ํ๋ ๋ถ๋ถ์ด๋ค. [1]
ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ ์ผ์ข ์ผ๋ก, ์ง๊ณต์ ๋์ธ ์๋ฃ์ ํ๋ฉด์ 1~100 nm์ ์ ์์ ์ผ๋ก ๊ด์ธกํ๋ ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ด๋ค. 1965๋ ์ต์ด๋ก ์ํํ๋์๋ค. SEM์ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ๋ฐ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ฒจ๋จ์ฅ๋น์ ํ์ง๊ด๋ฆฌ์๋ ์ ์ฉํ๊ฒ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๋ค.
SEM์ ์ปฌ๋ผ๋ถ๋ ์ ์์ด, ์ง์๋ ์ฆ์ ๋๋ฌผ๋ ์ฆ, ์ฃผ์ฌ์ฝ์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋์ด ์๋ค. ์ ์์ด์ ์ ์๋น์ ๋ฐ์์ํค๊ณ ๊ฐ์์ํค๋ ๋ถ๋ถ, ์ง์๋ ์ฆ์ ๋๋ฌผ๋ ์ฆ๋ ์ ์๋น์ ๊ฐ๋๊ฒ ๋ชจ์์ฃผ๋ ๋ถ๋ถ, ์ฃผ์ฌ์ฝ์ผ์ ์ ์๋น์ ๊ฒฝ๋ก๋ฅผ ์กฐ์ ํ๋ ๋ถ๋ถ์ด๋ค. [1]
3. S.E.M[ํธ์ง]
์๋ธ์ปฌ์ฒ์ ์์ด๋๋ง์คํฐ ๊ด๋ จ ๊ฐ๋
. ํด๋น ๋ฌธ์ ์ฐธ์กฐ