์ด ๋ฌธ์์ ์๋ณธ์ ์ธ๋ถ ์ํค์์ ๊ฐ์ ธ์์ต๋๋ค.
1. ํํ๋ฌผ์ง[ํธ์ง]
1.1. Trimethyl Aluminium[ํธ์ง]
๋ฌผ๋ฆฌ ํํ์ ํน์ฑ | |||||||
๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ํ | ์์ | ๋๋์ | ์ด๋์ | ๋ถ์๋ | ๋์ | ๋น์ค | ํ๋ฐ์ฑ |
์ก์ฒด | ๋ฌด์ฑ์ | 120~130 C | 0~15 C | 72.09 | ์์ | 0.752 | ์์ |
ํธ๋ฆฌ๋ฉํธ์๋ฃจ๋ฏธ๋(Trimethyl Aluminium)์ ์ฝ์. ์กฐ์ฑ์ (CH3)3Al์ผ๋ก, ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ดํฉ์ฒด๋ก ์กด์ฌํ๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ ์์ MOVPE ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธ์๋ฐ๋ง์ด๋ ๋์ ์ ์ฆ์ฐฉํ๊ฑฐ๋, ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ํจ์ ํํฉ๋ฌผ ๋ฐ๋์ฒด(AlGaAs, InAlAs ๋ฐ AlN ๋ฑ)์ ์ฐํ๋ฌผ ํํ์ ๋ฐ๋ง์ ํ์ฑํ๋ ๋ฐ ์ฐ์ด๊ฑฐ๋ ์ ๊ธฐํํฉ๋ฌผ์ ์คํฉ์ด๋งค๋ ๋ฐฐ์ ์ฉ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๋ฐ๋ง์ ์กฐ๋ฅผ ์ํ ALD ๋ฐ CVD์ฉ ์ก์ฒด ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ํํฉ๋ฌผ๋ก ์ฐ์ธ๋ค.
- ์ํ ์ ํด์ฑ
- ๊ฑด๊ฐ ์ํ์ฑ: ํก์ ์ ํธํก๊ธฐ๋์ ํ์ ๋ฐ ํธํก์ด๋ฐ์ ์ผ์ผํค๊ณ ์ฌํ ๊ฒฝ์ฐ ์ฌ๋ง ํ ์ ์๋ค. ํผ๋ถ ์ ์ด์ ํผ๋ถ์ ์ฌํ ํ์์ ์ ๋ฐํ๊ณ ๋ ์ ์ด์ ์ฌํ ํ์ ๋ฐ ์ถฉํ, ์ ๋ง ์ ์ด์์ ์ฌํ ํ์์ ์ผ์ผํจ๋ค. ๋คํํ ๋ฐ์์ฑ์ ์๋ค.
- ์๊ธ์กฐ์น ์๋ น:ํก์ ํ ๊ฒฝ์ฐ ์ฆ์ ์ค์ผ๋ ์ง์ญ์์ ๋ฒ์ด๋ ์์ฌ์ ์น๋ฃ๋ฅผ ๋ฐ์์ผ ํ๊ณ ํผ๋ถ์ ์ด ์ ์ค์ผ๋ ์ท์ ๋ฒ๊ณ 15๋ถ ์ด์ ๋น๋์ ๋ฌผ๋ก ์ป์. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์์ฌ์ ์น๋ฃ๋ฅผ ๋ฐ์์ผ ํ๋ค. ๋จน์์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ฌผ์ด๋ ์ฐ์ ๋ฅผ ๋๋์ผ๋ก ๋จน์ด์.
- ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ํ:๋งค์ฐ ๊ณ ์ธํ์ฑ์ด๋ฉฐ ๊ณต๊ธฐ์ ๋ ธ์ถ๋๋ฉด ์์ฐ๋ฐํ ํ ์ ์๋ค. ๋ ๋ฌผ๊ณผ ๊ฒฉ๋ ฌํ๊ฒ ๋ฐ์ํ๊ณ ๋ถ์์ฑ์ด ์๋ค. ๋ฌผ์ด๋ ๊ณต๊ธฐ์ ๋ง๋๊ธฐ๋ง ํด๋ ํญ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ฐ์์ํด ๋ถ์ด ๋ถ๊ณ , ๋ถ์ ์งํํ๋ ค๊ณ ๋ฌผ์ ๋ผ์น์ผ๋ฉด ๋ฐ๋ก ํญ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ฐ์์ ํ๋ค. ๋ค์ผ๋ก ์ฌ๊ธฐ์ ๋์ค๋ ์ฆ๊ธฐ์ ๊ณต๊ธฐ ํผํฉ๋ฌผ์ ํญ๋ฐ์ฑ๋ ์๋ค.
- ํ์ฌ์ ๋์ฒ์๋ น: ๊ด๋ จ ์ ๋ฌธ๊ฐ๊ฐ ์๋๋ฉด ๋ถ์ ๋๋ ค๊ณ ํ์ง๋ง๊ณ ์ต์ 500m ์ด์ ๋จ์ด์ง์. ๋ถ๋ง ์ํ์ฝ์ , ์๋คํ, ์ํ, ๋ง๋ฅธ ๋ชจ๋๋ฑ์ ์งํ์ ์ฌ์ฉ ํ ์ ์์ง๋ง ๋๋ค์ ๋ถ์ด ๋ถ์ ์ ์๋ค.
- ๋ณด๊ด๋ฒ: 10ํฌ๋ก๊ทธ๋จ ์ด์ ์ ์ฅ, ์ด๋ฐ, ์ฌ์ฉ์ ์ํ๋ฌผ์์ ๊ด๋ฆฌ๋ฒ์ ์ํ ์ํ๋ฌผ๋ก ๋ถ๋ฅ๋์ด, ๊ด๋ จ ์๊ฒฉ์ฆ ๋ณด์ ์๊ฐ ๋ฐ๋์ ๋ฌ๋ผ๋ถ์ด์ผ ํ๋ค. ๋ณด๊ด๋ฒ์ ์๋ํ๊ณ ํ๊ธฐ๊ฐ ์๋๋ ๊ฑด์กฐํ๊ณณ์ ์ฉ๊ธฐ์ ์ ์ฅํ๊ณ ๋ถํ์ฑ ๊ฐ์ค๋ฅผ ๋ฃ์ด์ค์ผ ํ๋ค. ๋ ๋ฌผ๊ณผ ์ต๊ธฐ์ ์ ์ด์ ํผํด์ผ ํ๋ค.
1.2. Trimethyl Amine[ํธ์ง]
๋ฌผ๋ฆฌ ํํ์ ํน์ฑ | |||||||
๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ํ | ์์ | ๋๋์ | ์ด๋์ | ๋ถ์๋ | ๋์ | ๋น์ค | ๋ง |
๊ฐ์ค | ๋ฌด์ฑ์ | -4~3 C | -124~-117 C | 59.11 | ์์ ์ฉ๋๋์[1] | 0.6356~0.6709 | ์ง ๋ง |
ํธ๋ฆฌ๋ฉํธ์๋ฏผ(Trimethyl Amine)์ ์ฝ์. ์กฐ์ฑ์ (CH3)3N์ผ๋ก, ์ฉ๋๋ ๊ณ๋ฉดํ์ฑ์ ๋ ์ด์จ ๊ตํ ์์ง, ๋์ฝ์ผ๋ก ์ฐ์ธ๋ค. ๋ฌผ๊ณผ ์์ฝ์ฌ์ ์ ๋
น๊ณ ํญ๋ฐ์ฑ์ด ์๋ค.
์์ ๋ฐ ๊ณ๋์์ ๋๋ ๋น๋ฆฐ๋ด์ ์ฃผ ์์ธ์ด ๋๋ ๋ฌผ์ง์ด๋ค. ๋น๋ฆฐ๋ด ๋ฌธ์ ์ฐธ์กฐ.
์ด ๋ฌผ์ง ๋๋ฌธ์ ๋ชธ์์ ์์ ์ฉ์ ๋์๊ฐ ๋๋ ํฌ๊ท๋ณ์ด ์๋๋ฐ ๊ทธ๊ฒ์ด ๋ฐ๋ก ํธ๋ฆฌ๋ฉํธ์๋ฏผ๋จ์ฆ์ด๋ค.
์์ ๋ฐ ๊ณ๋์์ ๋๋ ๋น๋ฆฐ๋ด์ ์ฃผ ์์ธ์ด ๋๋ ๋ฌผ์ง์ด๋ค. ๋น๋ฆฐ๋ด ๋ฌธ์ ์ฐธ์กฐ.
์ด ๋ฌผ์ง ๋๋ฌธ์ ๋ชธ์์ ์์ ์ฉ์ ๋์๊ฐ ๋๋ ํฌ๊ท๋ณ์ด ์๋๋ฐ ๊ทธ๊ฒ์ด ๋ฐ๋ก ํธ๋ฆฌ๋ฉํธ์๋ฏผ๋จ์ฆ์ด๋ค.
2. Total Media Agency[ํธ์ง]
์ฝ์คํ๋ ๋ฌผ์ ์ ๋ฌธ์ผ๋ก ํ๋ AVํ์ฌ์ ์ค๋ง. ์์ธํ ๊ฑด Total Media Agency ์ฐธ๊ณ .
3. Tycho Magnetic Anomaly[ํธ์ง]
2001 ์คํ์ด์ค ์ค๋์ธ์ด์ ๋ฑ์ฅํ๋ ์ํ. ์์ธํ ๊ฑด ๋ชจ๋
ธ๋ฆฌ์ค ์ฐธ์กฐ
[1] ์๋ชจ๋์๋์, ๋น๋ฆฐ๋ด