์ด ๋ฌธ์„œ์˜ ์›๋ณธ์€ ์™ธ๋ถ€ ์œ„ํ‚ค์—์„œ ๊ฐ€์ ธ์™”์Šต๋‹ˆ๋‹ค.
1. ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ
1.1. Trimethyl Aluminium1.2. Trimethyl Amine
2. Total Media Agency3. Tycho Magnetic Anomaly

1. ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ[ํŽธ์ง‘]

1.1. Trimethyl Aluminium[ํŽธ์ง‘]

๋ฌผ๋ฆฌ ํ™”ํ•™์  ํŠน์„ฑ
๋ฌผ๋ฆฌ์  ์ƒํƒœ
์ƒ‰์ƒ
๋“๋Š”์ 
์–ด๋Š”์ 
๋ถ„์ž๋Ÿ‰
๋ƒ„์ƒˆ
๋น„์ค‘
ํœ˜๋ฐœ์„ฑ
์•ก์ฒด
๋ฌด์ฑ„์ƒ‰
120~130 C
0~15 C
72.09
์—†์Œ
0.752
์—†์Œ
ํŠธ๋ฆฌ๋ฉ”ํ‹ธ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„(Trimethyl Aluminium)์˜ ์•ฝ์ž. ์กฐ์„ฑ์€ (CH3)3Al์œผ๋กœ, ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์ดํ•ฉ์ฒด๋กœ ์กด์žฌํ•œ๋‹ค. ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์—์„œ MOVPE ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„ ๊ธˆ์†๋ฐ•๋ง‰์ด๋‚˜ ๋„์„ ์„ ์ฆ์ฐฉํ•˜๊ฑฐ๋‚˜, ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„ ํ•จ์œ  ํ™”ํ•ฉ๋ฌผ ๋ฐ˜๋„์ฒด(AlGaAs, InAlAs ๋ฐ AlN ๋“ฑ)์™€ ์‚ฐํ™”๋ฌผ ํ˜•ํƒœ์˜ ๋ฐ•๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ๋ฐ ์“ฐ์ด๊ฑฐ๋‚˜ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์˜ ์ค‘ํ•ฉ์ด‰๋งค๋‚˜ ๋ฐฐ์„ ์šฉ ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„ ๋ฐ•๋ง‰์ œ์กฐ๋ฅผ ์œ„ํ•œ ALD ๋ฐ CVD์šฉ ์•ก์ฒด ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„ ํ™”ํ•ฉ๋ฌผ๋กœ ์“ฐ์ธ๋‹ค.
  • ์œ„ํ—˜ ์œ ํ•ด์„ฑ
    • ๊ฑด๊ฐ• ์œ„ํ—˜์„ฑ: ํก์ž…์‹œ ํ˜ธํก๊ธฐ๋„์˜ ํ™”์ƒ ๋ฐ ํ˜ธํก์ด‰๋ฐ•์„ ์ผ์œผํ‚ค๊ณ  ์‹ฌํ• ๊ฒฝ์šฐ ์‚ฌ๋ง ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ํ”ผ๋ถ€ ์ ‘์ด‰์‹œ ํ”ผ๋ถ€์— ์‹ฌํ•œ ํ™”์ƒ์„ ์œ ๋ฐœํ•˜๊ณ  ๋ˆˆ ์ ‘์ด‰์‹œ ์‹ฌํ•œ ํ™”์ƒ ๋ฐ ์ถฉํ˜ˆ, ์ ๋ง‰ ์ ‘์ด‰์‹œ์— ์‹ฌํ•œ ํ™”์ƒ์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค. ๋‹คํ–‰ํžˆ ๋ฐœ์•”์„ฑ์€ ์—†๋‹ค.
    • ์‘๊ธ‰์กฐ์น˜ ์š”๋ น:ํก์ž…ํ•  ๊ฒฝ์šฐ ์ฆ‰์‹œ ์˜ค์—ผ๋œ ์ง€์—ญ์—์„œ ๋ฒ—์–ด๋‚˜ ์˜์‚ฌ์˜ ์น˜๋ฃŒ๋ฅผ ๋ฐ›์•„์•ผ ํ•˜๊ณ  ํ”ผ๋ถ€์ ‘์ด‰ ์‹œ ์˜ค์—ผ๋œ ์˜ท์„ ๋ฒ—๊ณ  15๋ถ„ ์ด์ƒ ๋น„๋ˆ„์™€ ๋ฌผ๋กœ ์”ป์ž. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์˜์‚ฌ์˜ ์น˜๋ฃŒ๋ฅผ ๋ฐ›์•„์•ผ ํ•œ๋‹ค. ๋จน์—ˆ์„ ๊ฒฝ์šฐ ๋ฌผ์ด๋‚˜ ์šฐ์œ ๋ฅผ ๋Œ€๋Ÿ‰์œผ๋กœ ๋จน์ด์ž.
    • ๋ฌผ๋ฆฌ์  ์œ„ํ—˜:๋งค์šฐ ๊ณ ์ธํ™”์„ฑ์ด๋ฉฐ ๊ณต๊ธฐ์— ๋…ธ์ถœ๋˜๋ฉด ์ž์—ฐ๋ฐœํ™” ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๋˜ ๋ฌผ๊ณผ ๊ฒฉ๋ ฌํ•˜๊ฒŒ ๋ฐ˜์‘ํ•˜๊ณ  ๋ถ€์‹์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค. ๋ฌผ์ด๋‚˜ ๊ณต๊ธฐ์™€ ๋งŒ๋‚˜๊ธฐ๋งŒ ํ•ด๋„ ํญ๋ฐœ์ ์œผ๋กœ ๋ฐ˜์‘์„ํ•ด ๋ถˆ์ด ๋ถ™๊ณ , ๋ถˆ์„ ์ง„ํ™”ํ•˜๋ ค๊ณ  ๋ฌผ์„ ๋ผ์–น์œผ๋ฉด ๋ฐ”๋กœ ํญ๋ฐœ์ ์œผ๋กœ ๋ฐ˜์‘์„ ํ•œ๋‹ค. ๋ค์œผ๋กœ ์—ฌ๊ธฐ์„œ ๋‚˜์˜ค๋Š” ์ฆ๊ธฐ์™€ ๊ณต๊ธฐ ํ˜ผํ•ฉ๋ฌผ์€ ํญ๋ฐœ์„ฑ๋„ ์žˆ๋‹ค.
    • ํ™”์žฌ์‹œ ๋Œ€์ฒ˜์š”๋ น: ๊ด€๋ จ ์ „๋ฌธ๊ฐ€๊ฐ€ ์•„๋‹ˆ๋ฉด ๋ถˆ์„ ๋Œ๋ ค๊ณ  ํ•˜์ง€๋ง๊ณ  ์ตœ์†Œ 500m ์ด์ƒ ๋–จ์–ด์ง€์ž. ๋ถ„๋ง ์†Œํ™”์•ฝ์ œ, ์†Œ๋‹คํšŒ, ์„ํšŒ, ๋งˆ๋ฅธ ๋ชจ๋ž˜๋“ฑ์„ ์ง„ํ™”์— ์‚ฌ์šฉ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์ง€๋งŒ ๋˜๋‹ค์‹œ ๋ถˆ์ด ๋ถ™์„ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค.
  • ๋ณด๊ด€๋ฒ•: 10ํ‚ฌ๋กœ๊ทธ๋žจ ์ด์ƒ ์ €์žฅ, ์šด๋ฐ˜, ์‚ฌ์šฉ์‹œ ์œ„ํ—˜๋ฌผ์•ˆ์ „๊ด€๋ฆฌ๋ฒ•์— ์˜ํ•œ ์œ„ํ—˜๋ฌผ๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜๋˜์–ด, ๊ด€๋ จ ์ž๊ฒฉ์ฆ ๋ณด์œ ์ž๊ฐ€ ๋ฐ˜๋“œ์‹œ ๋‹ฌ๋ผ๋ถ™์–ด์•ผ ํ•œ๋‹ค. ๋ณด๊ด€๋ฒ•์€ ์„œ๋Š˜ํ•˜๊ณ  ํ™˜๊ธฐ๊ฐ€ ์ž˜๋˜๋Š” ๊ฑด์กฐํ•œ๊ณณ์— ์šฉ๊ธฐ์— ์ €์žฅํ•˜๊ณ  ๋ถˆํ™œ์„ฑ ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ๋„ฃ์–ด์ค˜์•ผ ํ•œ๋‹ค. ๋˜ ๋ฌผ๊ณผ ์Šต๊ธฐ์˜ ์ ‘์ด‰์„ ํ”ผํ•ด์•ผ ํ•œ๋‹ค.

1.2. Trimethyl Amine[ํŽธ์ง‘]

๋ฌผ๋ฆฌ ํ™”ํ•™์  ํŠน์„ฑ
๋ฌผ๋ฆฌ์  ์ƒํƒœ
์ƒ‰์ƒ
๋“๋Š”์ 
์–ด๋Š”์ 
๋ถ„์ž๋Ÿ‰
๋ƒ„์ƒˆ
๋น„์ค‘
๋ง›
๊ฐ€์Šค
๋ฌด์ฑ„์ƒ‰
-4~3 C
-124~-117 C
59.11
์ƒ์„  ์ฉ๋Š”๋ƒ„์ƒˆ[1]
0.6356~0.6709
์ง ๋ง›
ํŠธ๋ฆฌ๋ฉ”ํ‹ธ์•„๋ฏผ(Trimethyl Amine)์˜ ์•ฝ์ž. ์กฐ์„ฑ์€ (CH3)3N์œผ๋กœ, ์šฉ๋„๋Š” ๊ณ„๋ฉดํ™œ์„ฑ์ œ๋‚˜ ์ด์˜จ ๊ตํ™˜ ์ˆ˜์ง€, ๋†์•ฝ์œผ๋กœ ์“ฐ์ธ๋‹ค. ๋ฌผ๊ณผ ์•Œ์ฝ”์˜ฌ์— ์ž˜ ๋…น๊ณ  ํญ๋ฐœ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค.

์ƒ์„  ๋ฐ ๊ณ„๋ž€์—์„œ ๋‚˜๋Š” ๋น„๋ฆฐ๋‚ด์˜ ์ฃผ ์›์ธ์ด ๋˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ์ด๋‹ค. ๋น„๋ฆฐ๋‚ด ๋ฌธ์„œ ์ฐธ์กฐ.

์ด ๋ฌผ์งˆ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋ชธ์—์„œ ์ƒ์„  ์ฉ์€ ๋ƒ„์ƒˆ๊ฐ€ ๋‚˜๋Š” ํฌ๊ท€๋ณ‘์ด ์žˆ๋Š”๋ฐ ๊ทธ๊ฒƒ์ด ๋ฐ”๋กœ ํŠธ๋ฆฌ๋ฉ”ํ‹ธ์•„๋ฏผ๋‡จ์ฆ์ด๋‹ค.

2. Total Media Agency[ํŽธ์ง‘]

์ฝ”์Šคํ”„๋ ˆ๋ฌผ์„ ์ „๋ฌธ์œผ๋กœ ํ•˜๋Š” AVํšŒ์‚ฌ์˜ ์ค€๋ง. ์ž์„ธํ•œ ๊ฑด Total Media Agency ์ฐธ๊ณ .

3. Tycho Magnetic Anomaly[ํŽธ์ง‘]

2001 ์ŠคํŽ˜์ด์Šค ์˜ค๋””์„ธ์ด์— ๋“ฑ์žฅํ•˜๋Š” ์„ํŒ. ์ž์„ธํ•œ ๊ฑด ๋ชจ๋…ธ๋ฆฌ์Šค ์ฐธ์กฐ


[1] ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„๋ƒ„์ƒˆ, ๋น„๋ฆฐ๋‚ด